编号

项目名称

所在地

建设单位

环评单位

项目基本情况

污染防治措施

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鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司MLEDBP设备更新及技术改造项目

鄂尔多斯高新技术产业开发区装备制造产业园鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司厂区内

鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司

内蒙古碧蓝环境科技有限公司

2012年8月，原内蒙古自治区环境保护厅以内环审〔2012〕189号文件对《鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司第5.5代AM-OLED有机发光显示器件项目环境影响报告书》进行了批复，主要建设内容包括新建1条阵列玻璃基板月投入量为5.4万片的第5.5代有机发光显示器件生产线。该项目分两期进行了验收，阵列玻璃基板月投入量由5.4万片变更为6.8万片，生产LTPS LCD和AM-OLED两类显示器件，主要生产工序有LTPS TFT-LCD阵列工序、彩色滤光片工序、成盒工序、切割工序及有机蒸镀工序，配套建设辅助动力设施、化学品和气体供应设施、生活服务设施及环保工程等。

本次技改后，现有LTPS TFT-LCD阵列制备工序阵列玻璃基板月投入量为6.8万片规模不变，增加产出0.6万片MLED的生产设备及对应产品类型，对应减少0.6万片LTPS TFT-LCD产量，原AM-OLED产量不变。主要建设内容包括在现有LTPS TFT-LCD阵列工序基础上新增过孔刻蚀、铜镀膜及铜刻蚀工艺，新增工艺设备，新建含铜废水预处理系统。

1、加强施工期环境管理。施工单位在土石方开挖及设备安装过程中应严格按照设计要求施工，施工场地四周须建立围挡，定期进行洒水和清扫；合理安排施工作业时间，选用低噪声机械设备或带隔声、消声的设备；施工期产生的废水和固体废弃物要集中收集统一处置；严格控制施工范围，施工场地、设施等均置于永久占地范围内，减少施工期水土流失。

2、大气污染防治措施。本次技改干法刻蚀废气工序新增3套POU电加热氧化分解装置，配套集气系统，PECVD沉积废气沿用原废气收集系统，工艺尾气经“130台POU电加热氧化分解装置+1台静电除尘器+2套氢氧化钠湿式填料洗涤塔中和净化”处理后排放；掩膜光刻、光刻胶剥离工序有机废气经负压收集全部进入有机废气处理系统，本次新增1套集气罩，沿用现有3套有机废气处理装置，有机废气处理工艺为“沸石转轮吸附+天然气燃烧炉”；湿法刻蚀废气经负压收集进入阵列工序酸性废气处理系统，本次新增1套集气罩，新增1套氢氧化钠湿式填料洗涤塔，共设置5 套（4用1备）氢氧化钠湿式填料洗涤塔进行中和净化处理；上述废气排放满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2新污染源大气污染物排放限值二级要求。掩膜光刻碱性废气负压收集进入阵列工序碱性废气处理系统，本次沿用阵列工序现有3套（2用1备）硫酸湿式填料式洗涤塔进行中和净化处理，碱性废气中氨排放速率满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中表2新污染源大气污染物排放限值二级要求。厂界无组织氮氧化物、氟化物、非甲烷总烃排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2无组织排放监控浓度限值要求，厂内非甲烷总烃排放执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）附录A中表A.1排放限值要求。

3、水污染防治措施。技改项目清净清洗废水进入回收水系统处理后，部分返回纯水系统回用，部分进入含氟废水处理系统；含铜废水经新建1套含铜废水处理系统，铜废水处理系统采用“化学沉淀法+离子交换树脂法”处理工艺，出水达到含氟废水处理站进水水质要求后，进入含氟废水处理系统；含氟废水全部进入含氟废水处理系统处理后进入有机废水处理系统；产生酸碱废气洗涤废水进入彩膜废水处理系统，处理后进入有机废水处理系统。生产废水按照水质分别进入各废水处理系统，经各废水处理系统处理后汇入有机废水处理系统，最终出水可达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中表1间接排放限值要求，经市政污水管道排入装备制造基地万利污水处理厂。

4、通过选用低噪声设备、厂房隔声、安装减振基础等，确保厂界噪声值满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准要求。

5、各类固废严格按照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）及《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）的要求，做好分类贮存和安全处置工作。一般固体废物应立足于综合利用，危险废物委托有资质单位处置。